서울대 반도체 공정 교육 2탄

1탄에서는 가는방법과 가서 받는 물품 어떤 교육이 진행되었는지 봤다면

 

2탄에서는 교육을 받으며 느꼈던 생각이나 새로운 경험 위주로 포스팅 하겠습니다!

 

 

 

먼저 교육은 이론교육 후 실습교육으로 진행됩니다!

 

이론교육은 약 3시간 정도 진행됩니다. 각 파트마다 전반적인 내용 및 중요한 부분을 과외하듯 직접 하나하나 설명해주시기 때문에  저 처럼 반도체공정 수업을 듣지 않으신 분들도 유익한 수업이 될 거에요!!

 

 

먼저 반도체 교육은 이러한 CMOS를 만드는 과정의 수업을 진행합니다!!

 

 

 

 

 

CMOS를 만들기 위해서는 수업듣는 각각의 공정과정이 필수적이기 때문에  놓치지 않고 필기하며 수업을 따라갔습니다.

 

수업은 반도체공부를 5년이상 하신 석박사님들이 수업을 해주셔서 더욱 더 친근하게 수업을 들을 수 있었고 모르는 부분도 편하게 질문할 수 있었어요!

 

이번 공정교육을 듣기를 잘했다 생각한 부분은 지금 적을 Clean Room에서 각 공정에 진행과정을 볼 수 있었던 점 입니다!!

 

 

방진복을 입는 순서와 방법을 잘 알려주시고 인솔하에 클린룸에 들어가게 되는데요

 

방진복을 입은 모습입니다!!

 

포토공정이 진행되는 Yellow Room이 아니라면 휴대폰 사용이 가능해서 조교님의 허락을 구하고 사진을 찍어봤습니다.

 

실제로 대기업의 클린룸과는 다르겠지만 방진복을 입는과정과 에어샤워를 거쳐 HEPA Filter가 있는 클린룸으로 들어오기 까지 새로운 경험을 해볼 수 있었습니다!!

 

이곳이 에어샤워를 하는 장소입니다.

 

 

이곳은 클리룸 내부 통로입니다!! 분홍색 방진복을 입은 교육생들이 보이네요!!

 

 

조교님의 인솔하에 각 공정마다 웨이퍼가 어떤 과정을 거쳐 공정이 진행이 되는지 실시간으로 설명을 해주시기 때문에 더욱 더 이해가 잘 되었어요!!!

 

클린룸 내부 몇군데 더 보여드리겠습니다.

 

 

 

 

 

그러면 이제 실습간 조교님께서 다루었던 장비들에 대해서 보겠습니다!!

먼저 4 point probe 라는 장비입니다.

웨이퍼의 면저항을 통해 공정이 잘 이루어 졌는지 확인하는

 

 

 

다음은  ellipsometer 입니다!!

빛의 반사도를 측정해 잘 공정이 되었는지 확인하는 장비입니다

 

 

 

 

다음은 P-5000이라는 장비로 식각에 쓰이는 장비입니다!!!

이 장비로 식각을 할 때 플라즈마를 이용하기 때문에 잘 찍지는 못했지만 진공챔버를 확인하실 수 있습니다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

다음은 이온주입기 입니다.

반도체 공학에서 배웠든 p-type 이냐 n-type이냐는 이 이온주입기에 주입가스로 결정나겠죠?????

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

이 장비는 광학현미경입니다!!

포토 공정을 할 때 빛에 민감해 옐로우룸에서 작업을 한다고 했는데 조명이 옐로우 주명인 것을 보니 아마도 포토공정하는 베이 안 어디인가 인 것 같습니다!!

 

 

 

 

 

 

 

이 장비는 alpha step 이라는 장비입니다!!

두께를 측정하는 장비로 약간의 진동에도 민감하여 테이블자체가 충격에 따라 움직이도록 만들어졌습니다

 

 

 

 

이 장비는 열처리 장비인 furnace 입니다!

굉장히 활용도가 높은 장비로 수평 furnace 와 수직 furnace가 있다고 하는데

지금 보시는 장비는 수평 furnace 입니다!

 

 

 

 

이 장비는 dry 식각을 하는 장비인데 플라즈마를 볼 수 있는 장비입니다!!

많이 옛날 장비라 직접 보실기회가 있을지 모르겠지만 수시로 플라즈마 기체가 다른색을 띄는 것을 확인 하실 수 있습니다.

 

 

 

 

이 장비는 wafer를 세척하는 세척배스인데 직접 세척을 해야해서 조금 위험한 것 같았어요.... 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

이 장비는 세척된 웨이퍼를 회전을 이용해 물기를 제거하는 장비입니다!!

 

 

 

 

 

 

이 장비는 증착공정장비로 ALD 입니다 그나마 최신 장비라고 해요..하핳ㅎ 

 

 

 

 

 

 

 

 

매우 유익했던 교육기간이었습니다.

조교님들이 매우 친절하게 자세히 알려주시고 또 계속해서 궁금한점 있냐고 물어봐 주세요.

공정에 관심있으신분들은 직접 가서 공정과정도 눈으로 보시고 공부하시면서 궁금하셨던 것들도 물어보시면 좋을 것 같습니다,

 

 

 

 

끝으로 공학왕(블로그 주인)과 조교님들 고생많으셨어요